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氬氣微量氧檢測全解析:國家標準、檢測方法與儀器選擇


2025.09.11 瀏覽量:366 次
氬氣微量氧檢測全解析:國家標準、檢測方法與儀器選擇!氬氣作為重要的工業氣體,廣泛應用于焊接、半導體、光伏及金屬熱處理等領域。其中,氬氣中的氧含量是衡量其純度的關鍵指標之一。根據中國國家標準GB/T 4842-2017《氬》,對于??純氬??,其??氬氣純度需≥99.99%(體積分數),氧含量不得超過10ppm(體積分數)??。而對于??高純氬??,按照GB/T 10624-1995的規定,不同等級的產品氧含量要求更嚴格。氬氣中微量氧的限值依據國家標準執行,高純氬氧含量不得高于1.5ppm,檢測普遍采用GB/T 6285-2016規定的電化學法,使用ECD傳感器的便攜式或在線式分析儀可實現ppm級精準測量。
氬氣儲氣罐現場
氬氣中允許的氧含量是多少?不同等級有何差異?
氬氣作為工業和科研領域廣泛使用的惰性氣體,其純度直接影響焊接質量、半導體制造、金屬冶煉等工藝的安全與效率。國家強制標準《GB/T 4842-2017 氬》對工業用氬氣設定了明確分級:

純氬:氬純度 ≥ 99.99%,氧含量 ≤ 10 ppm(即0.001%)
高純氬:氬純度 ≥ 99.999%,氧含量 ≤ 1.5 ppm
而更早發布的《GB/T 10624-1995 高純氬》雖已被部分替代,但仍在特定行業沿用,其對高純氬進一步細分:
等級 氬純度 氧含量上限
合格品 ≥99.999% ≤2 ppm
一等品 ≥99.9993% ≤1 ppm
優等品 ≥99.9996% ≤1 ppm
可見,在高端應用如集成電路光刻、真空鍍膜等領域,要求氧雜質控制在 1 ppm以下 才能避免氧化反應導致的產品缺陷。

微量氧檢測為何必須遵循國家標準方法?
為確保檢測結果具備法律效力和行業公信力,所有涉及氣體質量仲裁、出廠檢驗的場景均需依據國家標準執行?!禛B/T 6285-2016 氣體中微量氧的測定 電化學法》是目前唯一被國標采納的微量氧檢測通則。
該標準明確規定:適用于測定氧濃度在 0.1 ppm 至 1000 ppm 范圍內的各類惰性氣體,包括氬氣、氮氣、氦氣等。其核心原理基于電化學檢測器(ECD),通過氧分子在電解質中的還原反應產生電流信號,電流強度與氧濃度呈線性關系。
值得注意的是,該標準排除了順磁法、激光吸收法等物理方法,強調電化學法在低濃度區(<10 ppm)具有更高靈敏度和更低本底干擾,尤其適合高純氣體質檢。


哪些檢測儀器能滿足國標要求并實現精準測量?
符合GB/T 6285-2016要求的檢測設備必須具備高穩定性、低漂移和抗交叉干擾能力。以贏潤集團研發的兩款典型儀器為例:
ERUN-QB9100便攜式氬氣純度分析儀
采用進口長壽命ECD傳感器,檢測范圍0~100 ppm,分辨率可達0.1 ppm,適用于現場抽檢、氣瓶驗收等移動場景。
便攜式氬氣純度分析儀器
ERUN-QZ9100在線式氬氣純度分析系統
支持固定安裝,24小時連續監測管道中氬氣氧含量,響應時間T90 < 30秒,支持4-20mA/RS485輸出,集成至PLC或DCS系統。
在線式氬氣純度分析儀器
兩類設備均通過中國計量科學研究院校準認證,實測數據顯示,在滿量程范圍內誤差≤±1%FS,長期運行零點漂移<0.5 ppm/月,完全滿足ISO 17025實驗室認可要求。

氬氣微量氧檢測全解析:國家標準、檢測方法與儀器選擇!通過采用符合國家標準的檢測儀器,可以有效地監測和管理氬氣中的微量氧含量,保障生產過程的安全性和產品質量。贏潤集團的ERUN-QB9100和ERUN-QZ9100儀器,以其高精度、高穩定性和多功能性,為氬氣中微量氧的檢測提供了可靠的解決方案。
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