KT-1650PVD小型濺射儀使用指南

1、 所需配套設(shè)備：小型濺射儀，水冷機(jī)，真空泵，高純氬氣

2、 配套設(shè)備安裝準(zhǔn)備工作

水冷機(jī)： （此設(shè)備為選配配件）本公司配備水冷機(jī)型號(hào) JZ-3000.進(jìn)出水口接 口為 6mm 快插接頭，配套 6 米透明 PU 管，外徑 6mm 內(nèi)徑 4mm 加水 6 升。建 議加入純水、去離子水，如沒有條件加入自來水也可。

若自行準(zhǔn)備水冷機(jī)，請(qǐng)匹配合適接頭

安裝方法：將設(shè)備背面進(jìn)出水口連接設(shè)備背面進(jìn)水口，公司標(biāo)配 6m 透明 PU 管， 可根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況進(jìn)行裁剪。（設(shè)備背面接口無進(jìn)出水口之分，可任意接）

真空泵：（此設(shè)備為選配配件）本公司所配備的是 8m3/h（2.2L/s），KF25 標(biāo)準(zhǔn)接口，及 1200mm 長波紋管。

若自行配備真空泵，請(qǐng)匹配合適大小接頭及波紋管

安裝步驟

把加油口打開，并將隨貨的一壺油全部倒入加油口（油量會(huì)超過最高刻度，屬正 常現(xiàn)象），將出氣口打開，可根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際情況自行安裝油霧過濾器或者出氣管道排到室外 或者通風(fēng)櫥。注：出氣口需保持暢通狀態(tài)，不可堵塞 進(jìn)氣口連接波紋管，與濺射儀左側(cè)真空擋板閥連接。

高純氬氣：小型濺射儀工作中需要用到高純氬氣，所以需要自行準(zhǔn)備高純 氬氣。本公司配備的管道為外徑 6mm 內(nèi)徑 4mm 聚四氟管道，請(qǐng)匹配合適的減 壓閥及進(jìn)氣接頭。設(shè)備進(jìn)氣壓力為不大于 0.1MPa。

設(shè)備安裝及準(zhǔn)備工作：

將白色聚四氟管道如上圖安裝至設(shè)備背面進(jìn)氣口，并用扳手鎖緊

配件安裝：

靶材：直徑 2 英寸，厚度 0.3mm-3mm

靶材的安裝：

先分別取下屏蔽罩、靶材壓環(huán)、靶材，將需要的靶材和靶材壓環(huán)緊緊貼住， 用 3 顆螺絲錯(cuò)開鎖緊壓環(huán)，擰上屏蔽罩。屏蔽罩距離靶材壓環(huán)距離 3mm 左右，

不可將屏蔽罩與靶材壓環(huán)接觸，以免造成設(shè)備短路

安裝基底：

分別取下玻璃罩和樣品臺(tái)，將襯底固定到樣品臺(tái)上，固定好的樣品水平放置在基底座上面，并且三個(gè)齒輪要相互咬合，最后放好玻璃罩，蓋好上蓋。

使用前檢查：

1、檢查水箱里面是否有水打開冷水機(jī)電源，檢查水冷接口是否連接好，觀察有沒有漏水的現(xiàn)象 （正常情況不漏水一個(gè)月檢查一次）

2、真空泵的油箱值是否在 min 和 max 之間（油有沒有發(fā)黃，發(fā)黃說明油有雜質(zhì)需要?jiǎng)倱Q），

3、氬氣壓力值是否在 0.1MPa 以下，

4、打開濺射儀電源，點(diǎn)擊擋板打開按鍵，觀察腔體內(nèi)樣品臺(tái)是否旋轉(zhuǎn)順暢，如有卡頓及時(shí)按下?lián)醢鍙?fù)位按鍵。

    濺射流程： 濺射操作前一定要打開水冷

順時(shí)針關(guān)閉氣體調(diào)節(jié)閥和放氣閥，旋轉(zhuǎn)真空泵手柄至最大值，打開真空泵開關(guān)，視線關(guān)注觸摸屏上的真空度是否有變化，如果無變化，將手往下壓住腔體密 封上蓋（不要用力過大），再查看真空度直到下降至 2Pa 以下，旋鈕氣體調(diào)節(jié)閥 到穩(wěn)定到 4Pa 左右，并保持 5 分鐘使腔體內(nèi)部充滿氬氣，開始濺射。

    手動(dòng)模式：設(shè)置樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速在 0-8r/min，若不需要旋轉(zhuǎn)可設(shè)置為 0，點(diǎn)擊擋板復(fù)位按鈕，使擋板遮擋基底。設(shè)置濺射電流，時(shí)間需要自己計(jì)時(shí)，濺射完成后，點(diǎn)擊停止運(yùn)行，并點(diǎn)擊擋板停止旋轉(zhuǎn)（此時(shí)不需要擋板復(fù)位）。如果想自己探索

濺射速率，及時(shí)記下濺射電流、電壓、功率和時(shí)間。

    自動(dòng)模式：預(yù)濺射 1：清除靶材上的雜質(zhì)。預(yù)濺射 2：升溫，穩(wěn)定電流 設(shè)置預(yù)濺射時(shí)間和電流（T1 和 T2），然后設(shè)置沉積的時(shí)間和電流（T3）

濺射電流根據(jù)靶材不同設(shè)置電流不同，觀察濺射電壓和濺射功率的值，濺射 電壓通常在 315V 以上，最好濺射效果在 330V-340V 范圍內(nèi)。（若電壓上不去，

可將靶材拆下，用細(xì)砂紙打磨靶材背面和濺射靶材座，使他們良好接觸（時(shí)間長

會(huì)氧化））

界面操作完成后，先關(guān)閉氣體調(diào)節(jié)閥和真空泵手柄，再逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)放氣閥，平衡內(nèi)外氣壓，打開玻璃罩上蓋，取出樣品臺(tái)，拿下樣品。關(guān)閉水源、真空泵、濺射儀，最后關(guān)閉電源總開關(guān)。